特点:



最适合于检测半导体特气的微量泄漏。



采用声光报警。




技术参数：

产品名称	介绍	单位	价格
日本半导体特气微量检漏仪  SKU:00033277.1	半导体特气检漏仪；检测对象气体:半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）；检测原理:热线型半导体式；采样方式:自动吸引式；可检测浓度（单位:ppm）: 砷烷AsH3:0.2；磷烷PH3:0.3；乙硼烷B2H6:0.1；硅烷SiH4:0.5；氢气H2:1.0；检测表示:蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁；应答速度:10秒以内；品牌:日本		询价

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